Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением



Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
Автор: Л. А. Сейдман
Дата написания: 2014
Издательство: Техносфера
ISBN: 978-5-94836-369-1
Цена: 349.00 Руб.
заказать | скачать | читать

Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография. Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок. Описаны изменения состава и структуры получаемых пленок и их зависимость от параметров процесса нанесения. Приведена широкая номенклатура получаемых этим способом пленок сложного состава. Рассмотрены модификации этого процесса, различающиеся используемыми источниками питания: постоянного тока, среднечастотных импульсов, импульсов большой мощности и ВЧ. Даны практические рекомендации по освоению известных и разработке новых процессов получения пленок сложного состава методом реактивного магнетронного распыления. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

Гениальная мысль: Лучшие книги те, о которых читатели думают, что они могли бы написать их сами. (Блез Паскаль)

Отличная шутка: Учительница географии попросила Иванова показать Рим, и уже вечером пара, бросив всё, мчалась в город любви.

Как купить

  • Про оплату - подробнее...

    Выбирайте: наличные курьеру или при получении заказа в пункте самовывоза, банковской картой, с помощью электронного кошелька Яндекс.Деньги, по выставленному счету после оформления заказа, возможна покупка в кредит с первоначальным взносом от 0% до 30%...

  • Про доставку - подробнее...

    Выбирайте: мы продаем электрооборудование с доставкой, также возможен и самовывоз. Курьерская доставка - от 230 до 290 рублей. Для заказов стоимостью от 5000 руб. или самовывозом - бесплатно!

что почитать

Новые книги!