Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие



Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие
Автор: А. И. Мочалов
Дата написания: 2013
Издательство: Лаборатория знаний
ISBN: 978-5-9963-2129-2
Цена: 275.00 Руб.
заказать | скачать | читать

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро– и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Гениальная мысль: Не всякая дорого стоящая книга - стоющая. (Илья Герчиков)

Отличная шутка: Я буду любить тебя, пока не перестану.

Как купить

  • Про оплату - подробнее...

    Выбирайте: наличные курьеру или при получении заказа в пункте самовывоза, банковской картой, с помощью электронного кошелька Яндекс.Деньги, по выставленному счету после оформления заказа, возможна покупка в кредит с первоначальным взносом от 0% до 30%...

  • Про доставку - подробнее...

    Выбирайте: мы продаем электрооборудование с доставкой, также возможен и самовывоз. Курьерская доставка - от 230 до 290 рублей. Для заказов стоимостью от 5000 руб. или самовывозом - бесплатно!

что почитать

Новые книги!